真空感應碘化爐
發布時間：2018/11/14
碘化爐簡介
設備主要技術參數：
設備總功率 140KW;
沉積室溫區 Φ300mm*Η600mm；
沉積室加熱溫度 1600℃；
沉積室加熱功率 100KW；
反應室均溫區 Φ200mm*Η900mm；
反應室加熱溫度 500℃；
反應室加熱功率 15KW；
碘儲存室 Φ200mm*Η500mm；
碘儲存室加熱溫度 120℃；
碘儲存室加熱功率 5.5KW；
碘收集冷凝需配置獨立制冷機功率 0.75KW；
兩端端蓋油冷循環溫度 250 ℃；
爐室空爐極限真空度 0.06Pa；
